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沈阳显微镜,1931年,德国的M.诺尔和E.鲁斯卡,用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装了一台高压示波器,并取得了放大十几倍的图象,创造的是透射电镜,证明了电子显微镜放大成像的可能性。1932年,经过鲁斯卡的改良,电子显微镜的分辨才能到达了50纳米,约为当光阴学显微镜分辨身手的十倍,打破了光学显微镜分辨,于是电子显微镜开端遭到人们的注重。到了二十世纪40年代,美国的希尔用消像散器补偿电子透镜的旋转不对称性,使电子显微镜的分辨身手有了新的打破,逐渐到达了现代程度。在中国,1958年研制胜利透射式电子显微镜,其分辨身手为3纳米,1979年又制成分辨身手为0.3纳米的大型电子显微镜。电子显微镜的分辨身手虽已远胜于光学显微镜,但电子显微镜因需在真空条件下工作,所以很难察看活的生物,而且电子束的映照也会使生物样品遭到辐照损伤。其他的问题,如电子枪亮度和电子透镜质量的进步等问题也有待继续研讨。
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