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高纯气体在真空技术中具有重要意义。例如，高纯度的氩气和氦气被用于制造真空设备和保持稳定的气氛，以进行各种实验和工艺操作。高纯气体在化学合成和分析中发挥重要作用。一些特殊的高纯气体如硼酸氢酯、三乙胺等被用作催化剂和反应中的原料。高纯气体在电子行业中扮演关键角色。例如，高纯度的氮气被用于晶体管和集成电路的生产，以提供一个洁净的工作环境。高纯气体在药物制造和生物技术中起着重要作用。一些特定的高纯气体如氧气、二氧化碳被广泛应用于制药工艺中的反应控制和细胞培养等领域。

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