甘肃利翔氢能特种气体科技有限公司与您一同了解张掖高纯氧气供应商的信息,高纯气体配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。于高纯气体管道安装时对材料阀门的选择、遵循管道安装技术要求和施工注意事项(比如气体管道工程的干管，应敷设在上下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时应设在其上部)，以及对气体管道的检验和维护保养。在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使高纯气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。
高纯气体、洁净气体体输送配管道，是指对输送气体的“三度”有要求或控制气体纯度气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数来表示，如%,也用杂质气氛含量的体积比ppm 、ppb、 ppt表示；燥度气体中微量水分的含量，或称之为湿量。洁净度气体中含有污染物粒子的数量，粒径为µm的粒子，多少粒/M3 来表示，对于压缩空气，通常也用不可避免的固体残留物的多少mg/m3来表示，其中涵盖了含油量。
对于特殊高纯气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。实验室高纯气体管路工程主要材质为不锈钢无缝钢管，所有气体管路的连接采用无缝焊接技术或卡套连接方式，管路可以安装在天花板下方，沿着墙壁来进行布局，便于检查和维修。高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以连接，常用的接头方式有两种分别为VCR和进口件采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此泄漏率低，约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量0×级的高纯气输送系统，而进口件则不如VCR，耐压较低，基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。
高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求，使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。高纯气体的管道的特点管材的透气性要小；管材内表面吸附解吸气体的作用要小；内壁光滑、耐磨损；有良好的抗腐蚀性能；性能稳定，含碳量低。高纯气体的气路的布线1．气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SSLBA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra<4umBA级管道。2．4N氮气主管线采用OD3/8”（35mm）的管道，5Mpa压力下流量可达8M3/小时，完全满足常规用气需求，支线采用OD1/4”（35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。3．5N氮气、氦气、预留气主管线采用OD1/4”（35mm）的管道，支线采用OD1/4”（35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。4．管道穿过障碍物时须使用管套并采用不可燃材料填充间隙。
