甘肃利翔氢能特种气体科技有限公司带您一起了解工业高纯气体加工的信息,高纯气体、洁净气体体输送配管道，是指对输送气体的“三度”有要求或控制气体纯度气体中杂质气氛的含量，通常用气体纯度的百分数来表示，如%,也用杂质气氛含量的体积比ppm 、ppb、 ppt表示；燥度气体中微量水分的含量，或称之为湿量。洁净度气体中含有污染物粒子的数量，粒径为µm的粒子，多少粒/M3 来表示，对于压缩空气，通常也用不可避免的固体残留物的多少mg/m3来表示，其中涵盖了含油量。
高纯气体路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。安装高纯气体时应注意采购气体钢瓶，用气体钢瓶供气。某个项目，采用何种方式 ，主要根据公司项目的生产规模及气体耗量，和工厂所在城市的气体市场供应等经过技术经济比较后确定。 现场制做气，管道输送供气方式。外购液态气体，气化后管道输送供气方式。
高纯气体当使用腐蚀性能较强的气体时，必须选用耐腐蚀的不锈钢管材作配管，否则，管材将会由于腐蚀而在内表面产生腐蚀斑，严重时会出现大片金属剥离甚至穿孔，从而污染输配的纯净气体。所有高纯度气体、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点（POU），为了达到工艺对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。高纯气体管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。
高纯气体配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。高纯气体针型阀形比其他类型的阀门能够耐受更大的压力,密封性能好,所以一般用于较小流量较高压力的气体密封.针型阀与压力表配合使用是较合适的了.一般的针型阀形都做成螺纹连接。在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使高纯气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。
