【总体描述】        EVO18是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。 【技术参数】 分辨率：3.0 nm @ 30 KV (SE 与W)                4.0 nm @ 30 KV (VP  with  BSD ) 加速电压：0.2-30KV 放大倍数：5-1000000 x 探针电流：0.5PA-5μA X-射线分析工作距离：8.5mm    35度接收角 低真空压力范围：10-400Pa（选配10-750Pa、LS10:环扫模式10-3000pa） 工作室：365mm (Φ) x 275 mm (h) 5轴优中心自动样品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm                                              T= -10°- 90°   R=360°(l连续) 较大试样高度：145mm   大试样直径：250mm 系统控制：基于Windows 7 的SmartSEM 操作系统 存储分辨率为32,000 x 24,000 pixels